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有源型靜電軸承

2014-09-20 19:34 作者:管理員17 來源:未知瀏覽: 次字號: 大中小

摘要:2.2有源型靜電軸承有源型靜電軸承有較高的軸承剛度和響應速度，可以使用直流電源。這種軸承的幾何結構與無源型靜電軸承完全相同.只是它帶有伺服控制電路。圖 13.11-22是有源型6極球形靜電軸承的示意圖和一對電極的伺服控制電路方框圖。有源型靜電軸承常

2.2有源型靜電軸承

有源型靜電軸承有較高的軸承剛度和響應速度，

可以使用直流電源。這種軸承的幾何結構與無源型靜

電軸承完全相同.只是它帶有伺服控制電路。圖

13.11-22是有源型6極球形靜電軸承的示意圖和一對

電極的伺服控制電路方框圖。

有源型靜電軸承常用的位置傳感器有光電傳感

器、高頻電橋等。伺服控制系統通常包括輸出電路、

位置敏感電路、補償網絡、放大器、振蕩器、調制器

和解調器等。
六面電極球形靜電軸承

六面電極球形靜電軸承

(責任編輯：laugh521521)

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