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圓柱和圓錐形靜電軸承
2014-09-20 19:30
作者:管理員17
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摘要
:2.1.2圓柱和圓錐形靜電軸承 圓柱和圓錐形靜電軸承的極數一般為4的整倍數。 圖13.11-20是串聯調諧4極圓柱形徑向靜電軸承。
2.1.2圓柱和圓錐形靜電軸承
圓柱和圓錐形靜電軸承的極數一般為4的整倍數。
圖13.11-20是串聯調諧4極圓柱形徑向靜電軸承。
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